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| 水汽捕集泵：高真空環(huán)境中的高效清潔利器 |
| 發(fā)布時間：2025-06-09 瀏覽： 次 |
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一、水汽捕集泵概述 水汽捕集泵(又稱超低溫冷阱或polycold)是一種利用深冷技術(shù)快速捕集真空系統(tǒng)中殘余氣體的裝置。其核心原理是通過制冷盤管(溫度可低至-145℃)的低溫冷凝效應(yīng)，高效吸附水蒸氣、油蒸汽等高沸點氣體，從而顯著提升真空系統(tǒng)的潔凈度和抽氣效率。該技術(shù)由Meissner發(fā)明，現(xiàn)由美國Brooks公司旗下Polycold品牌主導(dǎo)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、空間科學(xué)等領(lǐng)域。
二、工作原理與核心優(yōu)勢 低溫冷凝效應(yīng) 水汽捕集泵將制冷盤管置于真空室或油擴散泵口，通過超低溫表面使殘余氣體(80%以上為水蒸氣和油蒸汽)迅速冷凝成液態(tài)或固態(tài)，大幅縮短抽真空時間(60%-95%)，同時將真空度提升至10?? Torr(10?? Pa)級別。 關(guān)鍵技術(shù)特點 高效降溫：最快90秒內(nèi)降至-145℃，吸附能力遠(yuǎn)超傳統(tǒng)液氮方案。 自動除霜：配備熱氣除霜功能，90秒即可回溫，避免結(jié)霜影響后續(xù)操作。 智能控制：采用觸摸屏+PLC控制系統(tǒng)，支持本地/遠(yuǎn)程操作，兼容各類真空設(shè)備。 環(huán)保節(jié)能：采用混合環(huán)保制冷劑，單臺壓縮機即可實現(xiàn)自動復(fù)疊制冷，運行成本低。 三、應(yīng)用場景 半導(dǎo)體與電子工業(yè) 在集成電路、顯示器制造中，水汽捕集泵可消除殘余氣體污染，保障高真空環(huán)境的穩(wěn)定性。 適用于物理/化學(xué)氣相沉積(PVD/CVD)、磁控濺射、離子鍍膜等工藝，防止鍍膜層因水汽污染出現(xiàn)缺陷。 科研與醫(yī)療設(shè)備 在分子束研究、空間模擬裝置及醫(yī)療設(shè)備制造中，提供潔凈真空環(huán)境，延長設(shè)備壽命。 工業(yè)加工 用于塑料鍍膜、金屬表面處理等領(lǐng)域，避免高沸點氣體對產(chǎn)品的污染。 四、未來發(fā)展趨勢 隨著精密制造和科研需求的增長，水汽捕集泵將向更低溫度(如-160℃以下)、更高能效及模塊化設(shè)計方向發(fā)展。其與干式真空泵的協(xié)同應(yīng)用，或?qū)⒊蔀楣I(yè)領(lǐng)域降本增效的新選擇。 作為真空技術(shù)的重要突破，水汽捕集泵以高效、潔凈、節(jié)能的特點，持續(xù)推動著高精度制造與科學(xué)研究的進(jìn)步。 |
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